记者｜张乔遇
半导体前道设备的国产化进程一直备受关注。截至2023年末，前道量检测设备的国内企业市场份额约为5%，在主要半导体前道设备里，仅高于光刻机的国产化程度。无锡卓海科技股份有限公司（简称：卓海科技）作为行业参与者，正试图在这样的市场环境中突围。
近日，二手设备修复厂商卓海科技创业板上市被否后，又将目光瞄准北交所。
此前深交所对于卓海科技闯关创业板IPO所需要具备的技术先进性及创新性持怀疑态度，多次要求公司说明自身业务是否符合创业板定位。最终卓海科技以不符合发行条件、上市条件或信息披露要求上会被否，该次IPO历时半年。
前次IPO终止后的两年时间里，卓海科技业务发展迅速，营业收入年复合增长率达21.70%，且自研设备应力测量设备、方块电阻设备、反射光谱厚膜测量仪等3款产品已实现商业化。界面新闻注意到，卓海科技在这期间大量申请专利超30项，此次闯关北交所，其自研设备的收入占比有所增长，但超过90%收入仍依靠修复设备贡献。
目前公司自研设备仍采用委外生产模式。卓海科技从二手设备修复迈向自研设备自主生产，仍面临诸多挑战。
同样募投项目计划融资额大增
此次IPO，在律师事务所与会计师事务所维持不变的情况下，卓海科技将保荐机构从光大证券更换为海通证券。除此之外，公司募资额也较前次出现了大涨。
闯关创业板时，卓海科技计划募集资金5.47亿元，投资项目分别为半导体前道量检测设备产业化项目、研发中心建设项目和补充流动资金。本次闯关北交所投资项目不变，但募集资金金额增至7.00亿元，对应半导体前道量检测设备产业化项目、研发中心建设项目、补充流动资金募集资金同比分别增加92.72%、9.39%和15.08%。
图片来源：北交所招股书
图片来源：深交所招股书
半导体前道量检测设备产业化项目实施期均为3年，但卓海科技并未对募投资金大幅增加的原因作出解释。
值得注意的是，半导体前道量检测设备产业化项目投资概算中，人工费用未有太大变化，设备购置费从642万元增加至2070万元，建筑工程费中新增7470万元毛坯建设开源策略，此外还提到了一笔土地购置费1120万元。卓海科技指出，本项目预计税后项目投资内部收益率为15.69%，税后投资回收期为6.02年。
图片来源：北交所招股书
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研发中心建设项目的具体投资也有所改变，前次IPO更多的重点放在设备购置上，拟募集1.38亿元用于设备购置，本次研发中心建设项目减少至3280万元，主要购置用于高精度暗场缺陷检测设备、高精度颗粒检测设备等，而高达1.63亿元用于研发费用。卓海科技将使用位于无锡市新吴区的22.4亩土地作为研发中心建设项目用地。
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去年毛利率大降
成立初期，卓海科技主要从事半导体设备的技术服务及贸易业务。2011年聚焦前道量检测设备市场，并逐步从事前道量检测设备修复业务，2020年开始组建整机自研团队。
2022年至2024年，卓海科技的营业收入分别为3.14亿元、3.81亿元和4.65亿元；净利润分别为1.19亿元、1.32亿元和1.04亿元。
卓海科技报告期各期均有92%以上收入来自修复设备，自研设备自2023年创收，2023年、2024年收入分别为509.65万元、1214.96万元，占主营业务收入不足3%。此外还有部分零部件和技术服务收入。
卓海科技目前从事的大部分工作系对退役设备进行功能修复和精度修复，使退役设备完全恢复至全新出场时的功能和技术参数，供给芯片产线使用。
需要指出的是，卓海科技部分型号修复设备在采购环节，因竞购方较多，采购价格较高。然而，受下游需求影响，设备销售价格并未显著上涨。受此影响，叠加半导体行业景气度等因素作用，前道量检测修复设备2024年毛利率从上年的61.09%大幅下滑至46.49%，2024年出现增收不增利的情况。
在A股市场中，前道量检测设备厂商主要以中科飞测（688361.SH）、精测电子（300567.SZ）控股子公司上海精测、中微公司（688012.SH）参股子公司睿励仪器等企业为主，但均主要从事前道量检测设备的研发生产，与卓海科技不属于同一模式，目前还没有与卓海科技完全一致的上市公司。
关于创业板定位及核心技术是卓海科技在前次IPO时被重点关注的问题。北交所定位为服务创新型中小企业、重点支持先进制造业和现代服务业等领域的企业，推动传统产业转型升级。关注包括技术创新或模式创新、研发投入与科技成果转化等情况。
卓海科技所从事的半导体前道量检测设备属于“过程控制设备”，在控制芯片良率、评判工艺方案优劣方面作用显著。前道量检测设备具有精密度高、结构复杂、技术难度大、品类众多的特点，目前国内的产业化尚处于起步阶段，中国企业在前道量检测设备市场所占市场份额处于较低水平，仅5%（约1.76亿美元），大量的企业根据自身需要依靠境外KLA、AMAT、Hitachi等国际原厂采购和境内采购修复设备满足需求。
截至2025年2月末，卓海科技自研设备在手订单为2486.05万元，自研业务下游客户涵盖士兰微、捷捷微电、比亚迪、格力等。
值得注意的是，对于自研设备、核心组件及零部件，卓海科技生产均通过委外加工进行，公司主要进行设计环节，形成图纸、特定参数等核心技术方案。
两年内新增的71项专利含金量够吗？
根据此前披露招股书，截至2022年6月30日，卓海科技共拥有25项专利权，其中发明专利8项，其余17项为实用新型专利，均为原始取得。
北交所发行上市审核动态第11期已对拟IPO企业的创新特征作出多项规定。北交所指出，在该所申报发行上市的企业，原则上应当符合三项基本指标要求。其中一项要求企业通过独立或合作研发形成知识产权成果，并将其应用于公司主营业务。
具体而言，通常需拥有3项以上Ⅰ类知识产权或52项以上软件著作权。截至2024年6月底，249家北交所上市公司平均每家拥有22项发明专利。
数据来看，在2022年6月30日至2024年末，卓海科技的专利权数量大幅攀升至96项。其中，发明专利增加到44项，实用新型专利增加到52项。尽管卓海科技早在2009年便已设立，但其99%以上的专利都是在2019年及之后申请的，最早的一项专利申请是在2018年。
招股书显示，卓海科技已具备12英寸规格、14nm先进制程的部分设备修复能力，公司秉承“修研并举，双线发展”的发展模式。根据此前披露问询函，卓海科技核心技术主要是设备修复的技术提升，更多来自日常生产过程中经验和修复技术的持续积累。生产过程主要包括对退役设备的故障诊断、功能修复、精度恢复、产线适配等，主要系生产人员凭借技术经验，结合退役设备各类问题的具体显现表征定位问题所在，针对存在的配件缺失、损坏、老化、功能异常、精度不佳的具体问题及产险适配需求，通过维修、增加配件、调试、校准等方式实现。
前次IPO之后，卓海科技申请的专利大多与自研设备相关，共计82项，其中发明专利41项。此外，还形成了18项与自研设备相关的软件著作权。虽然专利数量显著增加，但这些专利是否真正转化为商业价值，仍有待考证。
同时，与之形成鲜明对比的是，卓海科技的研发投入仍处于较低水平。2022年至2024年，卓海科技的研发费用分别为1508.33万元、2842.14万元和3369.13万元，占营业收入的比重分别为4.81%、7.46%和7.25%。
2022年及2023年，中科飞测的研发费用率分别为40.40%和25.26%；精测电子的研发费用率分别为21.02%和26.37%。相比之下，卓海科技的研发投入不高，公司称开源策略，自身的研发方向侧重于修复技术的提升，与中科飞测等以自研设备为基础开展的用于支持整机开发的业务模式有所区别。
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